齒輪的重量與其材料和熱處理硬度有很大的關系。所以針對行星齒輪減速機的結構特點和齒輪的載荷性質，應該采用硬齒面齒輪。獲得硬齒面齒輪的熱處理方法有表面淬火，整體淬火、滲碳淬火、滲氮等。

常見的表面淬火方法有高頻淬火和火焰淬火兩種。表面淬火的淬硬層包括齒根底部時，其效果最好。齒面硬度可達45-55HRC。

滲碳淬火齒輪具有相對較大的承載能力，但必須采用精加工工序來消除熱處理變形，以保證精度。滲碳淬火在齒輪彎曲疲勞強度方面的作用除使心部硬度有所提高外，還在于表面的殘余壓應力。它可使最大壓應力區的應力減小，因此磨齒時不能磨齒根部分。

采用滲氮可保證齒輪在變形最小的條件下，達到很高的齒面硬度和耐磨性，熱處理后不再進行最好的精加工，提高了承載能力。

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